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螺旋式干式真空泵的特点有哪些?

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介绍的所有类型的干式真空泵,我们都巴望能够将其物理尺度减小。但这与真空泵的抽气速率相对立,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺度小意味着容积也小。当然,还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺度的真空泵的抽气速率与大尺度真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。而想要改动真空泵的转速有两种办法,一是改动电源的频率,即选用变频器;二是改动齿轮箱的传动比。其间,选用变频器的优点是能够提供一个闭环操控,但在大负载下简单引起扭距的丢失。而改动齿轮箱的传动比是一种十分经济的办法,当然,它只能提供不可控的单一转速。

能够看到,干式真空泵有着如此多的不同规划,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,运用本钱是影响人们挑选真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运转的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外犯错会引起机器的运用功率下降,影响到晶圆的出产和交货期,乃至造成所加工晶圆的作废和机器其他部件的损坏。
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因为螺杆式规划为单级规划,同多级泵如圆裂片式、爪式以及组合式比较,其在零件的运用数量上削减了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的修理本钱上有很大的优势。

归纳考虑,如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要,那么内部紧缩型螺杆式能够一个好的挑选。但遍及说来,对尾气处理越来越严厉的要求使得将来对削减氮气的用量变得更重要。如果你期望用单一类型的泵不通过改动宋处理各种不同的半导体工艺,而使你的库存操控简单化,那么外部紧缩型螺杆式是你最好的挑选。